RIX半導體行業用旋轉接頭 圓晶加壓

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: RIX半導體行業用旋轉接頭 圓晶加壓
產品型號: MFES系列
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

RIX半導體行業用旋轉接頭 圓晶加壓/MFES系列（多通道?），是專為半導體行業而開發的，通過使用非金屬材料或在與液體接觸的部件上施加涂層，可以創建一種可*大程度地減少金屬離子溶出到液體中的旋轉接頭。

RIX半導體行業用旋轉接頭 圓晶加壓  的詳細介紹

RIX半導體行業用旋轉接頭 圓晶加壓/MFES系列（多通道）

規格：

適用流體：純水、藥液、 空氣、真空
*大壓力 ：-0.095～0.6MPa
*大通路：8
*大轉速：250min-1

主要途徑與特點：

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復數流體同時流動。
通常應用于CMP設備






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