IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列

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產品名稱: IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列
產品型號: FLP-60W
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列，無需阻尼器即可實現低脈動，降低總體成本， 適用于單晶圓工藝的負載追隨性優異，可實現穩定運行。

IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列  的詳細介紹

IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列        產品特點：

●低脈動

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負載波動期間的跟隨性

●無需阻尼器可節省空間


IWAKI易威/氣動低脈動波紋管泵 FLP-60W       產品特參數：

*大排放量注 50L/min（供氣壓力0.2MPa、淡水25℃）
工作液溫度 5~100℃ 101~150℃ 151~180℃
*大供氣壓力 0.5MPa 0.4兆帕 0.3MPa
*大耗氣量 464NL/分鐘
*大行程數 160次/分鐘
主要成分 聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
*大轉移液粘度 50毫帕·秒
連接管徑 ?25mm × ?22mm（PFA管）

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