真空設備

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產品名稱: 真空設備
產品型號: DQ
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

① 爐內?ワーク溫度（分布）測定ユニット ： 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計 ② 急速冷卻ユニット ： 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管 ③ パッキン保護水冷ユニット(300～650°C仕様) ： 扉パッキン部、ヒーター?熱電対導入口パッキン部

真空設備  的詳細介紹
① 爐內?ワーク溫度（分布）測定ユニット ： 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷卻ユニット ： 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護水冷ユニット(300～650°C仕様) ： 扉パッキン部、ヒーター?熱電対導入口パッキン部
シリーズ 槽內寸法
mm 		*高溫度範囲
℃ 		加熱方式 槽內到達圧力*1
Pa 		真空排気系 操作方式
DQ*2 S 300□～1000□ 200 外部加熱 ×101 ― 手動
P 油回転真空ポンプ
DY P 400□～2000□ 300～650 內部加熱 ×101 油回転真空ポンプ 自動
MP ×100 油回転真空ポンプ
メカニカルブースタ
DH DP 400□～1500□ 300～650 內部加熱 ×10-3 油回転真空ポンプ
油拡散ポンプ 		自動
TP ×10-4 油回転真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
*1：ベークアウト後無負荷常溫での値です。
*2：DQシリーズでは*高溫度350～650℃(內部加熱式)の自動操作仕様も製作可能です。

システム構成例

① 爐內?ワーク溫度（分布）測定ユニット ： 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷卻ユニット ： 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護水冷ユニット(300～650°C仕様) ： 扉パッキン部、ヒーター?熱電対導入口パッキン部

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